北京
金融界2025年6月18日消息，国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“一种电子显微镜的正交性校准方法、装置以及存储介质”的专利，公开号CN120161079A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本申请实施例提供了一种电子显微镜的正交性校准方法、装置以及存储介质，包括：根据电子显微镜采集到的晶圆上目标区域对应的图像，确定对应的目标频谱图像。根据目标频谱图像中筛选出的多个频谱特征点，确定电子显微镜对应的正交性检测结果，并根据检测结果进行正交性校准。有效统一了针对电子显微镜正交性的校准规范，自动化的检测和校准流程也使得电子显微镜正交性校准过程的处理效率和校准精度获得显著提升，也极大程度上提高了后续通过校准后电子显微镜对晶圆进行尺寸检测的检测效率和检测精度。
天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目24次，财产线索方面有商标信息161条，专利信息302条，此外企业还拥有行政许可18个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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