金融界2025年6月12日消息,国家知识产权局信息显示,东莞鑫鼎盛智能研磨科技有限公司申请一项名为“一种基于加料结构的化学机械抛光机”的专利,公开号CN120116142A,申请日期为2025年04月。
专利摘要显示,本发明涉及抛光机技术领域,并公开了一种基于加料结构的化学机械抛光机,包括由C形机座、驱动气缸和驱动电机组成的抛光机本体,C形机座工作平台上安装有截面为凹字形的环形挡板,驱动电机的输出轴固定连接有转动贯穿于C形机座和环形挡板上的传动轴。该基于加料结构的化学机械抛光机能够有效解决现有技术中,大多采用中部单点添加抛光液的方式,在硅晶圆边缘或研磨垫的中心区域会存在抛光液浓度不均的现象,导致局部过度抛光或抛光不足,从而影响整体抛光质量的问题;且大多通过夹具或真空吸附垫固定硅晶圆,对于不同厚度的硅晶圆进行抛光时的露出厚度不便调节,会导致硅晶圆在抛光过程中受到过度压力增加损伤风险的问题。
天眼查资料显示,东莞鑫鼎盛智能研磨科技有限公司,成立于2019年,位于东莞市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析,东莞鑫鼎盛智能研磨科技有限公司财产线索方面有商标信息4条,专利信息42条,此外企业还拥有行政许可8个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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