北京
金融界2025年6月11日消息，国家知识产权局信息显示，无锡诚承电子科技有限公司申请一项名为“一种离子注入机的硅片载物台用硅片对准焦面校准方法”的专利，公开号 CN120126988A，申请日期为 2025年03月。
专利摘要显示，本发明公开了一种离子注入机的硅片载物台用硅片对准焦面校准方法，本发明涉及光刻对焦技术领域。该离子注入机的硅片载物台用硅片对准焦面校准方法，通过光学系统对硅片载物台上硅片的图像数据进行采集处理，数据处理后基于对准标记实现硅片载物台位置的初步校准，而后对光学系统的焦距进行调节确定对准标记处的焦点，通过标点算法结合光学系统的测验实现焦面的偏差计算，而后将偏差数值补偿至硅片载物台进行修正确定对准焦面，以此实现焦距调整和产品倾斜度调整的结合，从而保障硅片对准焦面校准后中心对应的同时，其产品所处位置均位于对准焦面的平面上，提高校准效率的同时保障校准精度。
天眼查资料显示，无锡诚承电子科技有限公司，成立于2013年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本218.1176万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡诚承电子科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目19次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息30条，此外企业还拥有行政许可7个。
本文源自金融界
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