北京
金融界2025年6月11日消息，国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司取得一项名为“一种靶材装置及离子束沉积系统”的专利，授权公告号CN222961530U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本实用新型公开一种靶材装置及离子束沉积系统，靶材装置应用于离子束沉积系统，离子束沉积系统包括工艺发生装置，工艺发生装置的内部形成工艺腔室；靶材装置包括：第一载台，第一载台用于安装靶材，第一载台被配置为能够设置在工艺腔室内；防护罩，防护罩能够罩设于第一载台，防护罩设置有溅射窗口，防护罩被配置为能够设置在工艺腔室内；驱动机构，包括驱动组件和驱动轴组件，驱动轴组件包括相套接的内轴和外轴，驱动组件和内轴以及外轴均相连，用于驱使内轴和外轴进行转动，内轴和第一载台相连，外轴和防护罩相连，外轴用于驱使防护罩在溅射工位和防护工位之间进行切换。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目224次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息442条，此外企业还拥有行政许可14个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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