北京
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金融界2025年6月3日消息，国家知识产权局信息显示，苏州德龙激光股份有限公司申请一项名为“晶圆扩膜装置”的专利，公开号CN120072750A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明涉及一种晶圆扩膜装置，包括扩膜载台外圈组件、扩膜载台内圈组件、扩膜往复压紧组件和晶圆扩膜顶升执行机构，晶圆扩膜顶升执行机构驱动上方中部的扩膜载台外圈组件在竖直方向上移动，在扩膜载台外圈组件的内圈安装有扩膜载台内圈组件。本发明提供了一种晶圆扩膜装置，能够实现全自动扩膜，实现die间隙合理分开，方便后续工序。
本文源自：金融界
作者：情报员
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