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金融界2025年6月2日消息，国家知识产权局信息显示，悠声股份有限公司申请一项名为“至少具有金属层和氧化物层的MEMS换能器”的专利，公开号CN120054847A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明涉及一种MEMS换能器（1），特别是MEMS声换能器单元，优选地用于产生和/或检测可听波长谱和/或超声范围内的声波，所述MEMS换能器具有载体（2）和至少一个布置在所述载体（2）处并且可朝升降轴（3）的方向偏转的压电元件（4），所述压电元件具有至少一个压电层（5,25,35,36）和至少一个载体层（6），其中借助所述至少一个压电层（5,25,35,36）可将电信号和压电元件（4）的偏转转换成彼此。根据本发明，所述载体层（6）包括至少一个金属层（41‑43）和至少一层氧化物层（37‑40）。此外，本发明涉及将结构层（6）用于MEMS换能器（1）的用途和一种所述MEMS换能器（1）的制造方法。
本文源自：金融界
作者：情报员
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