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金融界2025年6月2日消息，国家知识产权局信息显示，旭硝子欧洲玻璃公司申请一项名为“用于沉积IIIA族金属氮化物膜的方法”的专利，公开号CN120077159A，申请日期为2023年10月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于沉积具有优选的(002)取向的IIIA族金属氮化物层的方法，其包括：a.提供基板；b.通过磁控溅射将包含ZnO的晶种层沉积在该基板上；c.通过磁控溅射将第一IIIA族金属氮化物层直接沉积在该晶种层上。本发明进一步涉及一种涂覆的基板，其从基板表面开始依次包括包含ZnO的晶种层和第一IIIA族金属氮化物层，其中该第一IIIA族金属氮化物层具有优选的结晶取向(002)，并且涉及包含ZnO的晶种层用于增加直接沉积在所述晶种层上的第一IIIA族金属氮化物层的结晶度的用途。
本文源自：金融界
作者：情报员
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