金融界2025年5月29日消息,国家知识产权局信息显示,中科艾科米(北京)科技有限公司申请一项名为“一种多坩埚蒸发源”的专利,公开号CN120041791A,申请日期为2025年02月。
专利摘要显示,本发明涉及一种多坩埚蒸发源,涉及蒸发源技术领域,包括坩埚台、第一螺杆、水冷组件与法兰,其中,所述水冷组件包括水冷管,所述水冷管穿过所述法兰后从所述坩埚台的底部的预留孔伸入到所述坩埚台内;所述坩埚台用于安装多个所述坩埚,所述坩埚台的一侧设有可打开的侧盖,使得所述水冷管通过可打开的所述侧盖可拆卸地安装入所述坩埚台的内部;所述坩埚台与所述法兰之间通过所述第一螺杆可拆卸地连接;所述水冷管和所述坩埚台、所述法兰之间可拆卸地连接。通过设置可拆卸的水冷管,使得法兰、坩埚台与水冷管可分离,以实现在使用不同蒸距时可直接更换不同长度的水冷管,避免拆卸安装繁琐,从而增加蒸发源的使用场景。
天眼查资料显示,中科艾科米(北京)科技有限公司,成立于2018年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本641.1412万人民币。通过天眼查大数据分析,中科艾科米(北京)科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目120次,专利信息28条,此外企业还拥有行政许可4个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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