北京
金融界2025年5月23日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“研磨机构及化学机械研磨装置”的专利，公开号CN120023751A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本申请提供了一种研磨机构及化学机械研磨装置，其中，研磨机构包括研磨垫片、研磨组件，研磨垫片用于研磨目标晶圆，研磨组件位于所述目标晶圆背离所述研磨垫片的一侧，包括研磨头、压力膜片，所述压力膜片连接于所述研磨头；所述压力膜片包括膜片本体以及凸环结构，所述凸环结构凸设于所述膜片本体朝向所述目标晶圆的一侧，沿所述目标晶圆的轴向，所述目标晶圆至少部分容置于所述凸环结构内，所述凸环结构上背离所述研磨垫片的一侧设有第一压力腔，在所述第一压力腔内气体压力的作用下，所述凸环结构使所述目标晶圆的边缘部位与所述研磨垫片紧密贴合，从而保证对目标晶圆的研磨质量。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目167次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息669条，此外企业还拥有行政许可55个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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