北京
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金融界2025年5月20日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板升降装置和包括该基板升降装置的基板加工装置”的专利，公开号CN120015688A，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本公开涉及基板升降装置和包括该基板升降装置的基板加工装置。根据本公开的基板升降装置包括：升降销，该升降销贯穿在加工空间中支承基板的基板支承单元、并提升和降低基板；销保持器，升降销的下部插入到所述销保持器中；以及波纹管，该波纹管环绕销保持器，其中销保持器形成有导向构件，该导向构件的下部与螺栓耦接并沿加工空间的方向引导在波纹管内产生的气流。
本文源自：金融界
作者：情报员
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