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金融界 2025 年 5 月 12 日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“流体供应单元、基板处理装置以及流体控制方法”的专利，公开号 CN119965071A，申请日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显示，本发明涉及一种流体供应单元、基板处理装置以及流体控制方法，流体控制方法用于控制从包括用于供应流体的流体供应源以及与所述流体供应源连接的多个流体供应线的流体供应单元向基板的底面供应的流体的流量变动性，其特征在于，所述流体控制方法包括：尺寸测定步骤，获得所述流体供应线的长度以及截面积；体积计算步骤，利用所述获得的长度以及截面积而计算所述流体供应线的体积；时间测定步骤，获得打开形成于所述流体供应源的阀而向所述流体供应线供应所述流体的时间；以及控制步骤，基于与所述流体供应线的长度以及截面积、所述流体供应线的体积以及所述时间有关的数据，控制所述流体的流量。
本文源自：金融界
作者：情报员
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