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金融界 2025 年 5 月 10 日消息，国家知识产权局信息显示，ASML 荷兰有限公司申请一项名为“用于真空室、例如衬底处理系统的真空室的狭缝阀组件”的专利，公开号 CN119948282A，申请日期为 2023 年 10 月。
专利摘要显示，提出了一种用于真空室、例如衬底处理系统的真空室的狭缝阀组件，其中狭缝阀组件包括：壳体，具有侧壁和形成在侧壁中的至少一个衬底传送口，壳体具有由侧壁限定的内部容积；狭缝阀门，设置在壳体内并且能够被定位在打开位置与关闭位置之间，在打开位置狭缝阀门离开衬底传送口，以及在关闭位置狭缝阀门沿着密封周部抵接并密封衬底传送口；致动器，耦接到狭缝阀门，并且能够操作为使狭缝阀门在打开位置与关闭位置之间移动；以及呈杂散粒子相互作用元件形式的装置，用于减少通过至少一个衬底传送口进入内部容积的杂散粒子的粒子动能。
本文源自：金融界
作者：情报员
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