金融界2025年5月2日消息,国家知识产权局信息显示,凯斯科技股份有限公司申请一项名为“包含弯曲结构的膜及包括该膜的基板载体”的专利,公开号CN119871214A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,在一个实施例中,基板载体可包括:载体头;膜,其为了夹持基板,与载体头的下部相连接;以及卡环,其与载体头的下部相连接,以便从外侧包围被膜夹持的基板,膜包括:底板;侧壁,其从底板的外廓向上侧方向延长,并且在下部包括向内侧方向弯曲形成的弯曲结构;以及第一翻板,其从底板延长,并与侧壁一起形成第一腔室。
本文源自:金融界
作者:情报员
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