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金融界2025年5月1日消息，国家知识产权局信息显示，东莞新科技术研究开发有限公司申请一项名为“离子束刻蚀方法”的专利，公开号 CN119890037A，申请日期为 2023 年 10 月。
专利摘要显示，本发明公开的离子束刻蚀方法包括：提供离子束刻蚀机，所述离子束刻蚀机包括用于提供离子束的离子源以及用于支撑半导体材料的支撑台；将半导体材料定位于所述支撑台上；以及控制所述离子束以 0‑45°的入射角度对所述半导体材料进行刻蚀。该方法可以精确控制半导体材料的形状和大小，而且不容易在半导体材料上产生毛刺和残留物，从而提高半导体器件的制造精度和性能。
天眼查资料显示，东莞新科技术研究开发有限公司，成立于2004年，位于东莞市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1050万美元。通过天眼查大数据分析，东莞新科技术研究开发有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息537条，此外企业还拥有行政许可43个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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