金融界2025年4月29日消息,国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司申请一项名为“一种用于研磨头的气囊装置”的专利,公开号CN119871210A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本发明公开了一种用于研磨头的气囊装置,包括:多个第一囊体,相邻两个第一囊体的侧壁相接,第一囊体具有相对设置的接触面和调节面,接触面用于与晶圆接触;第二囊体,设于调节面,至少覆盖一个第一囊体的边缘,以使第二囊体形变时带动第一囊体的边缘运动;控制组件,包括第一控制件和第二控制件,第一控制件连接于第一囊体以向第一囊体填充介质使第一囊体的发生形变,接触面与晶圆贴合;第二控制件连接于第二囊体以向第二囊体填充或抽离介质,使第二囊体发生形变,第二囊体的底壁带动第一囊体运动,以使接触面与晶圆紧密贴合。本发明能够改善对于气囊界面处的压力控制,从而进一步调控界面处的研磨速率。
天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目166次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息634条,此外企业还拥有行政许可55个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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