共启“芯”未来   FIB专著首发，赋能先进制造、具身智能高质量发展

导读

在工业制造迈向高精度、智能化的进程中，聚焦离子束（FIB）技术作为一种前沿的纳米级加工与分析手段，近年来在众多领域崭露头角。在此背景下，广电计量携手南京大学、中国科学技术大学、上海交通大学、哈尔滨工业大学的科研精英共同编写《聚焦离子束：失效分析》新书（下称“专著”），填补了国内聚焦离子束领域实践性专业书籍的空白，为聚焦离子束技术发展与知识传播提供了重要助力。

4月25日下午，由广电计量、专著编著团队联合主办，无锡广电计量承办的工业FIB发展研讨会暨新书发布仪式在广电计量华东检测基地举办。来自半导体制造、材料研发、仪器仪表等领域的近百位行业专家、企业代表共聚一堂，围绕FIB电镜在显微分析领域的应用展开交流，共同探讨FIB技术应用方向和最新的发展趋势。

江南大学智能制造学院院长李可，南京大学亚原子电镜中心主任邓昱，国仪量子技术(合肥)股份有限公司董事长贺羽，复旦大学物理学系教授郑长林，东南大学教授尹奎波，上海交通大学研究员王英，哈尔滨工业大学分析测试中心副主任邹永纯，中国科学技术大学微纳研究与制造中心主任助理汪林俊，江苏省产业技术研究院高级工程师谷雨，广电计量党委副书记、总经理明志茂，广电计量副总经理吴乃林、黄英龄、陆裕东等嘉宾出席会议。会议由广电计量总经理助理、无锡广电计量总经理储程晨主持。

大会现场

行业大咖共话FIB

技术发展新方向

陆裕东致辞

陆裕东表示，设备国产化、技术能力、工程实操经验是制约技术大规模应用的“卡脖子”三大因素，亟需行业各方共同努力。值专著发布之际，广电计量搭建技术交流平台，共同探讨如何让FIB技术从实验室走向生产线，从“技术优势”转化为“产业胜势”。未来，广电计量将继续推动 FIB 技术从单点突破到系统创新、从可用到好用，成为 FIB 技术领域的实践者与推动者。

贺羽致辞

贺羽表示，国仪量子在过去一年在高端仪器设备领域实现多项技术能力突破，与企业、高校合作推动技术创新与产业落地。未来，国仪量子将以开放合作、技术赋能、人才共育的方式继续助力FIB技术发展。

邓昱致辞

邓昱表示，在行业爆发式发展态势下，专著和行业标准发布将进一步完善技术规范，赋能行业更高效、科学地发展；与此同时，行业亟需高端设备和操作技术普及，以学术界与产业界的深度融合为纽带，推动FIB新技术、新成果的转化应用，为现代产业升级提供更强劲的创新驱动力。

储程晨主持论坛

权威专著首发

凝聚产学研用智慧结晶

《聚焦离子束：失效分析》是FIB技术应用领域的权威著作，由知名高校科研教授联合广电计量博士专家共同编撰，内容涵盖了设备原理、制样工艺、典型案例等全流程技术解析以及大量鲜活的实验数据，凝聚了编者们对目前FIB技术应用的实践总结，为从业者提供可落地的实操指南。

本次会议特别邀请邓昱、王英、邹永纯、汪林俊、陆裕东、陈振等5位编著者与特邀嘉宾共同登台揭晓这本凝聚产学研智慧的重磅著作。

专著首发合影

具身智能研究院揭牌

护航产品全生命周期

2025 年《政府工作报告》首次将 “具身智能” 明确列为未来产业。这一重磅部署，不仅标志着我国人工智能发展从虚拟算法向物理世界深度融合的重大转向，更预示着具身智能将成为重构全球产业竞争格局的核心力量。

广电计量瞄准国家战略需求，加速具身智能产业布局，揭牌成立《具身智能产业先进技术创新应用研究院》。该研究院由江南大学与广电计量联合建设，延续广电计量FIB技术标准化、国产化探索，通过融合 AI 算法，推动传统分析技术从“单点检测” 跨越至“全链路智能诊断”。未来，广电计量将构建覆盖“芯片-算法-系统-装备”全链条的综合服务体系，为具身智能产品在复杂场景下的稳定性与可靠性提供全生命周期技术护航。

研究院揭牌

前沿技术分享

探索 FIB 应用多元场景

本次会议邀请了5位来自编著团队和高校的科研专家教授，聚焦先进制程芯片解剖、微纳加工技术及发展趋势、半导体材料与器件电镜表征、纳米器件、材料表界面与原位表征等领域的前沿应用，结合技术应用分享技术难点解决方案，展现了FIB技术在半导体产业链从设计研发、制造封测到失效分析的全生命周期赋能，加速FIB技术从实验室走向产业应用的 “最后一公里”。

复旦大学物理学系教授郑长林作《精准FIB加工在半导体材料与器件电镜表征中的应用》报告

上海交通大学研究员王英作《聚焦离子束微纳加工技术及发展趋势》报告

中国科技大学理学博士、高级工程师汪林俊作《聚焦离子束在纳米器件加工与检测中的应用》报告

哈尔滨工业大学副研究员、博导邹永纯作《聚焦离子束在材料表界面与原位表征中的应用》报告

无锡广电计量副总经理陈振博士作《聚焦离子束在先进制程芯片解剖中的应用》报告

五场干货满满的技术报告后，由邓昱老师主持开放论坛环节。嘉宾们围绕行业热点展开深度思辨，聚焦AI智能在FIB技术中的应用现状和实际场景、FIB技术行业标准发布对于半导体行业发展的指导意义、FIB、SEM、TEM等技术在先进制程集成电路应用中的发展趋势等话题进行踊跃交流。

此外，论坛还组织了实验室参观环节，带领与会嘉宾走进广电计量无锡实验室，零距离体验先进检测技术和设备，与一线技术人员进行互动交流。

与会嘉宾参观广电计量无锡实验室

锚定产业新机遇

共绘 FIB 技术发展蓝图

参会嘉宾现场交流

在 “十四五” 规划对先进制造与具身智能的战略布局下，FIB 技术作为支撑 “中国智造” 的核心底层技术，已成突破高端装备 “卡脖子” 难题的必争之地。广电计量作为国内半导体一站式测试分析技术解决方案提供商，将以专著发布及研究院成立为起点，持续推进 FIB 技术标准化及国产化，携手产业链上下游深化技术研发、设备迭代、生态共建合作，为高端制造产业升级注入更强动力！

集体合影

文：吴御驱

图：伍铭聪

编辑：冯正璋

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(广电计量)