北京
金融界2025年4月10日消息，国家知识产权局信息显示，东莞市晟鼎精密仪器有限公司申请一项名为“一种晶圆全自动快速退火设备”的专利，公开号 CN 119786412 A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆加工技术领域，尤其是指一种晶圆全自动快速退火设备。该种晶圆全自动快速退火设备，包括晶舟平台；晶圆放置在晶舟平台；转移晶圆的机器人设置在晶舟平台的侧旁；晶圆冷却站设置在机器人的侧旁；该晶圆冷却站的定位架可放置多个晶圆；上料机构设置在机器人的侧旁，该上料机构包括承载板和顶针；机器人将晶舟平台上的晶圆加载到顶针；工艺炉设置在上料机构的侧旁；该工艺炉包括炉体、炉门、加热件、载盘组件；顶针将晶圆加载到载盘组件。定位架能容纳大量的晶圆，有助于提高冷却和上料的效率。顶针下降将晶圆加载到载盘组件，保证晶圆加载的精准度。载盘组件可以放置多个的晶圆，工艺炉能对多个晶圆加热，更有助于提高加工效率。
天眼查资料显示，东莞市晟鼎精密仪器有限公司，成立于2012年，位于东莞市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本3550万人民币，实缴资本2724万人民币。通过天眼查大数据分析，东莞市晟鼎精密仪器有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目64次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息149条，此外企业还拥有行政许可9个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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