金融界2025年4月2日消息,国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“一种提高MOS器件性能的方法”的专利,公开号 CN 119742227 A,申请日期为2023年9月。
专利摘要显示,本发明提供一种提高MOS器件性能的方法,提供功函数层;在所述功函数层上形成阻挡层;在所述阻挡层上形成金属层,所述金属层的材料为钨,所述金属层的厚度为刻蚀所述金属层、阻挡层以及所述功函数层形成栅极结构。本发明将传统22nm制程中栅极材料AL替换为钨,将AL栅下的粘合层Ti及阻挡层TiN替换为的阻挡层TiN,本发明大大降低MOS器件栅极电阻,提升沟道拉应力,从而提升NMOS器件性能。
天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币,实缴资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2077次,专利信息2254条,此外企业还拥有行政许可343个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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