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金融界 2025 年 4 月 1 日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“重量和/或层厚度测量设备以及衬底处理系统和方法”的专利，公开号 CN 119737850 A，申请日期为 2024 年 9 月。
专利摘要显示，重量和/或层厚度测量系统包括：(a)用于支撑物体的支撑基座；(b)振荡器源，将振荡频率施加到支撑基座；(c) 应变传感器，测量由振荡在支撑基座中引起的应变；以及(d)连接到振荡器源和应变传感器的锁相环模块。基于由锁相环模块确定的相位差信息来修改施加到支撑基座的振荡频率，以定位支撑基座和被支撑物体的谐振频率。处理前后的谐振频率用于确定物体上层的重量和/或厚度。簇型衬底处理系统可以包括在衬底搬运室内和/或在与衬底搬运室接合的独立室或站中的重量和/或层厚度测量系统，例如这些类型的系统。
本文源自：金融界
作者：情报员
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