北京
金融界2025年4月1日消息，国家知识产权局信息显示，珐玛泰克工业自动化（上海）有限公司申请一项名为“一种新型集成电路用电子级多晶硅清洗工艺技术”的专利，公开号 CN 119735209 A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明涉及一种新型集成电路用电子级多晶硅清洗工艺技术，属于电子级多晶硅硅芯清洗技术领域。1号槽体内为高纯水浸泡槽，2号槽体为脱油脱脂剂浸泡槽，3号槽为超声波+高纯水漂洗槽，4号槽为高纯水冲洗槽，5号槽为超纯水冲洗槽，6号槽为氢氟酸+硝酸混酸刻蚀槽，7号槽为氢氟酸+硝酸混酸酸洗校正槽，8号槽为高纯水漂洗槽，9号槽为高纯水冲洗槽，10号槽为高纯水漂洗槽，11号槽为高纯水浸泡槽，12号槽氮气热风烘干。主要包含一次脱油脱脂清洗，两次酸洗加氮气干燥，辅助超声清洗。硅料放置在PVDF材质的长方体料篮内，篮筐通过机械手抓取，逐次通过各工作槽，完成硅料清洗作业。
天眼查资料显示，珐玛泰克工业自动化（上海）有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，珐玛泰克工业自动化（上海）有限公司财产线索方面有商标信息12条，专利信息4条，此外企业还拥有行政许可2个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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