金融界2025年4月1日消息,国家知识产权局信息显示,荣芯半导体(宁波)有限公司申请一项名为“研磨头的控制方法和研磨头”的专利,公开号 CN 119734194 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本申请 公开一种研磨头的 控制方法和研磨头, 研磨头包括多个压 力调节区,每个压力 调节区用于独立的 调节晶圆上位置相 对区域的压力,部分 压力调节区沿晶圆 的周向排列,部分压 力调节区沿晶圆的 径向排列控制方法 包括:在将待研磨晶圆吸附于研磨头上之后,获取待研磨晶圆 上与每个压力调节区位置相对的区域的目标研磨量;基于目标 研磨量,将多个压力调节区划分为至少两个调节组;基于每个 调节组对应的目标研磨量,确定每个调节组的目标压强;基于 每个调节组的目标压强,控制供压装置向每个压力调节区供 压。
天眼查资料显示,荣芯半导体(宁波)有限公司,成立于2021年,位于宁波市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本41452.2292万人民币,实缴资本38696.418849万人民币。通过天眼查大数据分析,荣芯半导体(宁波)有限公司共对外投资了4家企业,财产线索方面有商标信息15条,专利信息30条。
本文源自:金融界
作者:情报员
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