北京
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金融界 2025 年 3 月 20 日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“具有流动控制环的衬底处理设备及其使用方法”的专利，公开号 CN 119640231 A，申请日期为 2024 年 9 月。
专利摘要显示，一种衬底处理设备，包括上室空间、下室空间、基座和流动控制环组件，该流动控制环组件包括密封环和具有围绕基座的形状的流动控制环，当基座处于第一位置时，流动控制环组件将上室空间相对于下室空间密封或基本密封。
本文源自：金融界
作者：情报员
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