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金融界2025年2月21日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于等离子体过滤的系统和方法”的专利，公开号CN 119491202 A，申请日期为2018年10月。
专利摘要显示，本公开涉及用于等离子体过滤的系统和方法。系统和方法可用于制定等离子体过滤。示例性处理腔室可包括喷淋头。处理腔室可包括基板支撑件。处理腔室可包括电源，所述电源与基板支撑件电气耦合并且经构造以向基板支撑件提供电力，来在喷淋头与基板支撑件之间限定的处理区域内产生偏压等离子体。处理系统可包括等离子体屏蔽件所述等离子体屏蔽件与基板支撑件耦合并且经构造以实质上消除穿过等离子体屏蔽件的等离子体泄漏。等离子体屏蔽件可与电气接地耦合。
本文源自：金融界
作者：情报员
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