金融界2025年2月13日消息,国家知识产权局信息显示,拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司申请一项名为“键合设备、键合方法及存储介质”的专利,公开号CN 119400714 A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本发明提供了键合设备、键合方法及存储介质。所述键合设备包括键合机台、检测机台、机械手及控制器。所述键合机台用于根据键合参数进行晶圆与待键合件的键合。所述检测机台用于检测所述键合样品中晶圆与待键合件的键合偏差所述机械手至少用于将所述键合样品传输到所述检测机台。所述控制器被配置为:控制键合机台,根据当前的键合参数进行第一晶圆与第一待键合件的键合,以制备第一键合样品;响应于完成第一键合样品的制备,控制机械手将第一键合样品传输到检测机台,以确定其第一键合偏差;根据第一键合偏差,在线调整键合参数,并将其实时反馈到键合机台;以及控制键合机台,根据在线调整的键合参数进行之后的第二键合样品的制备。
天眼查资料显示,拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司,成立于2020年,位于嘉兴市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1067.5409万人民币,实缴资本812.7046万人民币。通过天眼查大数据分析,拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司参与招投标项目7次,知识产权方面有商标信息7条,专利信息61条,此外企业还拥有行政许可5个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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