北京
金融界2025年1月24日消息，国家知识产权局信息显示，上海优睿谱半导体设备有限公司申请一项名为“晶圆缺陷检测系统及方法”的专利，公开号CN 119334880 A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明提供的一种晶圆缺陷检测系统及方法，检测系统包括：第一光源通道、第二光源通道、反射检测通道、垂直检测通道、散射检测通道、运动平台。本发明提供的晶圆缺陷检测系统，通过反射检测通道测定较大尺寸的表面形貌，还可以通过垂直检测通道明场检测测定小高度差和小直径缺陷；五个散射测量通道，可以同时检测晶圆的近红外、可见光、倾斜入射光源、近紫外和垂直入射光源波段能量，可以准确检测出晶圆的多种缺陷。识别缺陷并准确分类，追溯缺陷的源头和演化过程，对晶圆制程工艺的改善，给出相应的数据支撑。
天眼查资料显示，上海优睿谱半导体设备有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本713.1195万人民币，实缴资本221.1244万人民币。通过天眼查大数据分析，上海优睿谱半导体设备有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目5次，知识产权方面有商标信息13条，专利信息23条，此外企业还拥有行政许可2个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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