北京
金融界2025年1月23日消息，国家知识产权局信息显示，荣芯半导体（宁波）有限公司申请一项名为“研磨头的吸附装置、化学机械研磨设备及控制方法”的专利，公开号 CN 119328669 A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请公开一种研磨头的吸附装置、化学机械研磨设备及控制方法，该吸附装置包括：由弹性材料制成的吸附膜，吸附膜具有相对的第一表面和第二表面，第一表面用于接触晶圆；其中，晶圆包括中心区域和包围中心区域的边缘区域；该吸附装置还包括设置于第二表面上的吸附腔室和多个压力腔室，吸附腔室用于吸附边缘区域；多个压力腔室用于分别连接外部的供压装置，以使每个压力腔室通过独立的供压装置调节其内的压强，调节给中心区域上与压力腔室位置相对的区域施加的压力；其中，部分压力腔室沿晶圆的周向排列，部分压力腔室沿晶圆的径向排列。
天眼查资料显示，荣芯半导体（宁波）有限公司，成立于2021年，位于宁波市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本41452.2292万人民币，实缴资本38696.418849万人民币。通过天眼查大数据分析，荣芯半导体（宁波）有限公司共对外投资了4家企业，知识产权方面有商标信息15条，专利信息19条。
本文源自：金融界
作者：情报员
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