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金融界2025年1月16日消息，国家知识产权局信息显示，无锡卓海科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆曲率半径的测量方法、装置及系统”的专利，公开号 CN 119297101 A，申请日期为 2024年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆曲率半径的测量方法、装置及系统，包括：获取待测晶圆的支撑类型；根据支撑类型，确定待测晶圆的挠性变形分布；根据挠性变形分布确定待测晶圆的曲率半径；其中，支撑类型包括单圈连续支撑或三点支撑。本发明提供的晶圆曲率半径的测量方法可以对单圈连续支撑或三点支撑的晶圆曲率半径进行测量，从而计算出补偿后的晶圆曲率半径。
天眼查资料显示，无锡卓海科技股份有限公司，成立于2009年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本7168.6725万人民币，实缴资本7168.6725万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡卓海科技股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目82次，知识产权方面有商标信息34条，专利信息128条，此外企业还拥有行政许可41个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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