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金融界2025年1月2日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“带电粒子束发生器及离子束刻蚀设备”的专利，授权公告号 CN 222233575 U，申请日期为 2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种带电粒子束发生器及离子束刻蚀设备，该带电粒子束发生器包括：带电粒子束生成腔体，具有引出口；引出口控制装置，用于调节引出口的引出面积。本方案根据带电粒子束生成腔体内部的等离子体密度幅值的大小，控制引出口控制装置调节引出口的引出面积，可以使该引出面积能够适配等离子体鞘层形态变化，使带电粒子引出效率始终维持在较大幅值，从而有效提高了带电粒子束发生器的性能和稳定性。
本文源自：金融界
作者：情报员
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