新施诺第五代天车助力半导体智能制造体系持续升级!

在晶圆厂内，AMHS自动物料搬送系统是半导体产业链中极其关键的环节。作为半导体智能制造体系的重要组成部分，AMHS对提升晶圆厂稼动率和产品良率至关重要，已成为半导体设备细分领域的热门赛道，国产化AMHS设备也引发了资本市场越来越多的关注和青睐。

苏州新施诺半导体设备有限公司（以下简称“新施诺”）作为全球领先的AMHS设备和软件整体解决方案提供商，近期推出第五代天车系统，代表了新施诺在技术创新及产品迭代上的新高度。

借势国产替代机遇

近年来，半导体逆全球化趋势加速、中国半导体智能化产业升级、半导体设备国产自主可控等一系列因素均为新施诺AMHS系统持续迭代提供机遇。6英寸、8英寸直至如今的12英寸晶圆厂产线，半导体代工厂对物流系统的工作效率、稳定运行、精准搬运的要求不断提高，人工搬运方案或AGV地面方案在物流速率、稳定性和洁净度问题上存在明显缺陷；在12英寸先进生产线上，AGV（自动导引车）方案已经无法满足晶圆厂的产能要求。因此，AMHS系统目前已经成为各大半导体前后道厂商建设高效智能化生产线的第一选择。

AMHS下游应用场景丰富，除半导体制造行业外，AMHS在面板行业、智慧工厂以及新能源电池行业的渗透率也在不断上升。AMHS系统开始逐渐扩展不同行业及领域，也许在不久的未来，AMHS系统将广泛应用于各行各业，大规模提升社会的生产效率。同时，随着AMHS应用场景的不断扩大，也带动AMHS行业整体的市场规模不断增长。华泰证券预计2025年，全球仅半导体行业用AMHS的市场规模高达37亿美元，中国半导体行业用AMHS的市场规模超10亿美元。

新施诺AMHS系统的迭代升级也契合了半导体设备国产自主研发建设目标。由于日本本土制造体系的先发优势和全球化产业分工等历史性原因，AMHS系统市场主要被海外尤其是日本厂商垄断，国内半导体设备受国外发达国家政策限制影响，交付不确定性加大，天车系统国产化自主可控需求迫切，所以，AMHS行业国产化机遇加速到来，为新施诺提供了快速成长空间。

（新施诺OHT天车）

夯实自主创新

新施诺立志打破垄断、抓住产业风口、凭借多年研发积累、坚持迭代创新，目前已经推出第五代天车系统，在半导体工厂内，稳定安全性与集成控制化等核心指标方面都得到了明显提升。

从运行速度上看，第五代天车系统做到了效率的极致提升——运行速度提升至5.33m/s，快速装载可达9.4秒（2.85米提升高度），大大减少了物流在生产环节中的时间。新施诺第五代天车无论在运行速度，还是在抓取时间上都和前一代相比有了显著提升，就算是长距离跨区域传送，通常整周期也控制在3分钟内。

从安全与稳定性上看，第五代天车的设计优化使其转弯动作更加流畅，通过先进的低振动技术，大幅度降低了运行过程中的振动幅度，避免搬运振动引发晶圆破损，搬运重复精度控制误差在0.5mm以内，搬运过程载具振动峰值不超过0.5G，且关键取放过程中实施多重防护。多车防碰撞设计（ZCU）和CPS冗余功能也在五代天车中得到了进一步的强化和优化。CPS冗余功能能够在一台供电系统出现异常时，立即切换至备用系统，确保生产线的不间断运行，这对于实现高效的生产环节至关重要。

从集成控制方面上看，这一代天车系统车体硬件通过集成化设计，将运动控制板与IPC紧密结合在同一硬件平台，实现了高效的数据处理和通信功能，显著提升了系统响应度。

操作软件扮演着AMHS系统“大脑”的角色，是每天几十万次的搬运操作的总调度师。总经理王宏玉强调，通过硬软件协同迭代，第五代天车进一步优化了调度算法，在充分考虑不同工厂的生产流程和具体工序的基础上，有效避免天车在运送过程中的拥堵现象，确保物料运输的最优路径选择，达到提高生产效率，满足晶圆厂产能需求；新一代软件管理系统还与晶圆厂的其他设备、软件连接，实现了对整个半导体工厂搬运信息的有效追踪，为工厂管理者提供了可靠、实时的数据信息。这不仅有助于提高产线的智能化效率，也极大地增强了生产调度的灵活性和响应速度。

综上所述，新施诺第五代天车系统在运行速度、安全稳定、软硬件融合等技术迭代展示出了强有力的市场竞争力，企业将不断通过国内外协同研发及供应链整合，持续升级AMHS系统整体解决方案。

（新施诺AMHS整体解决方案提供商）

持续打造优质客户验证体系

不同半导体工厂现场环境结构不同，生产工艺差异化等因素影响，AMHS系统定制化是客户必然需求，尤其看重对设备现场装机运行和验证，而且大型晶圆厂客户也倾向于选择有实际案例验证的厂商。

总经理王宏玉指出，整体技术过硬且满足客户需求的AMHS解决方案，必然建立在对客户生产环境深度认知的基础上，这对企业的研发专注力与耐心极强考验，需要企业秉承长期主义原则。新施诺第五代天车系统，硬软件系统在发往客户工厂前必须通过一系列严格的厂内检验和测试，交付至客户现场后，还将进行一系列安装调试：“仅整体稳定性测试，我们就要进行超过1个月的连续性搬运作业，以验证系统平均连续搬运次数大于某一具体数量的指标。”

新施诺凭借强大的内部研发能力、对长期主义原则的坚持，以及投资人对企业融资的鼎力支持和高新区政府良好的营商环境，内外并举、多力合一，持续稳步地推动实现AMHS全球第一的愿景！