金融界2024年12月30日消息,国家知识产权局信息显示,吉林麦吉柯半导体有限公司取得一项名为“镜片清洗装置”的专利,授权公告号 CN 222220504 U,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本申请实施例提供一种镜片清洗装置,涉及半导体制造技术领域。装置包括溶液槽及容置篮,所述溶液槽用于盛装清洗溶液,容置篮用于放置待清洗镜片,可以将装有待清洗镜片后的容置篮放置于溶液槽内浸泡清洗。容置篮包括多个限位凹槽及隔离板,其中,可以通过拆卸安装隔离板调节相邻隔离板之间的间距,相邻隔离板之间的空间用于放置所述待清洗镜片。通过限位凹槽和可拆卸的隔离板的相互配合,可以灵活地调整放置待清洗镜片的空间,可以有效地分隔待清洗镜片,确保每一待清洗镜片都能够充分暴露于清洗溶液中,解决因镜片层叠导致的清洗不净问题,提高清洗效率。此外,利用溶液槽盛装清洗溶液,可以对清洗溶液进行循环利用,减少生产成本。
本文源自:金融界
作者:情报员
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