金融界2024年12月25日消息,国家知识产权局信息显示,桑德斯微电子器件(南京)有限公司申请一项名为“一种具有自对准通道和自对准接触区的半导体器件及制备”的专利,公开号CN 119170625 A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,一种半导体器件,基本单元包括衬底(1);在衬底上形成的第一电导率掺杂型缓冲层(2);在缓冲层顶部形成的第一电导率掺杂型的一个或多个外延层(3);第二电导率掺杂型的体区(4),形成于最顶层的外延层;第一电导率掺杂类型的源区;第二电导率掺杂类型的体接触区,埋在源区下方;在源区(5)中形成的沟槽(16),使电通向体接触区(6),并且比体接触区窄,源触点(9)是与沟槽侧壁上的源区重叠的欧姆触点,体接触点(10)是与沟槽底部的体接触区重叠的欧姆触点;基本单元还包括栅极绝缘体(7)和栅极(8);源区和体接触区通过与体区的自对准过程形成,源区和体接触区的宽度相同但小于体区宽度。
本文源自:金融界
作者:情报员
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