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金融界2024年12月5日消息，国家知识产权局信息显示，华景传感科技（无锡）有限公司申请一项名为“一种压电式MEMS声学换能器和制备方法”的专利，公开号CN 119071704 A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种压电式MEMS声学换能器和制备方法，包括：基底和振膜；振膜位于基底的表面；基底包括空腔，沿基底指向振膜的方向，空腔贯穿基底；振膜远离基底的表面设置有至少两个开槽，开槽贯穿振膜；开槽在基底的垂直投影位于空腔内；开槽内设置有波纹结构层，且波纹结构层的第一边沿开槽的第一侧壁延伸至振膜远离基底的表面，波纹结构层的第二边沿开槽的第二侧壁延伸至振膜远离基底的表面；波纹结构层的表面设置有至少一个凹槽，和/或波纹结构层采用的材料的杨氏模量小于预设值时，波纹结构层的表面不设置凹槽，本发明能够改善低频衰减，并同时能够减少振膜的刚度。
本文源自：金融界
作者：情报员
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