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证券时报e公司讯，盛美临港研发与制造中心迎来里程碑时刻——首台量测设备 KLA-Tencor Surfscan SP7入驻研发洁净室，标志着盛美的研发实力迈上新台阶，Surfscan SP7 的加入提升了公司的量测能力至1x纳米(nm)。
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