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金融界2024年10月9日消息，国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司取得一项名为“法拉第杯结构及电子束检测设备”的专利，授权公告号CN 221812082 U，申请日期为2024年2月。
专利摘要显示，本申请属于电子束检测技术领域，尤其是涉及一种法拉第杯及电子束检测设备。该法拉第杯结构包括杯体，杯体设有杯口通孔及杯腔；杯口通孔连通于杯腔，杯口通孔包括第一杯口孔段及第二杯口孔段，第一杯口孔段位于远离杯腔的一侧；杯腔在杯口通孔轴向上的投影至少覆盖杯口通孔，第一杯口孔段的孔径小于第二杯口孔段的孔径。其中，该杯口通孔为变径式结构，如此在降低电子束入射在杯口通孔内壁上风险的情况下，尽量减少电子逃逸至杯体外。
本文源自：金融界
作者：情报员
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