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金融界2024年9月30日消息，国家知识产权局信息显示，麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司申请一项名为“一种控制探测器的探头与晶圆之间距离的方法和装置”的专利，公开号 CN 118707276 A，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本发明提供了一种控制探测器的探头与晶圆之间距离的方法和装置，其中方法包括：在探测器的卡盘放置晶圆前，对卡盘施加交流信号，使卡盘产生扰动信号，进而在探测器的探头处产生耦合电压；调整探头与卡盘之间的距离，利用探测器的信号采集电路，采集不同距离下的耦合电压，获得距离与耦合电压的倒数的关系曲线；在探测器的卡盘放置晶圆后，针对每一个探测点，获取当前状态下的耦合电压，根据当前状态下的耦合电压，利用关系曲线，计算出当前状态下探头与晶圆之间的距离，以及目标距离所对应的耦合电压的倒数，计算出目标的耦合电压的倒数与当前的耦合电压的倒数的差值根据差值计算出驱动机构的驱动电压的变化量；驱动机构根据驱动电压的变化量改变驱动电压，驱动探测器的探头上下移动，使探头与晶圆之间的距离为目标值。
本文源自：金融界
作者：情报员
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