金融界 2024 年 9 月 25 日消息,国家知识产权局信息显示,细美事有限公司申请一项名为“化学液体分配设备”的专利,公开号 CN 118683194 A,申请日期为 2024 年 2 月。
专利摘要显示,提供了一种化学液
体分配设备,所述化学液体分配
设备包括:头组件,所述头组件
包括通道单元和多个喷嘴,化学
液体流动通过所述通道单元,所
述化学液体从所述通道单元流
动通过所述多个喷嘴,并且所述
多个喷嘴将所述化学液体分配
到衬底上;和管道,所述管道连
接到所述头组件,并且所述化学
液体行进通过所述管道,其中,
所述通道单元包括第一流路和
第二流路,所述第一流路具有分
支结构,所述第二流路连接到所
述第一流路并且向所述多个喷嘴供应所述化学液体。
本文源自:金融界
作者:情报员
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