北京
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来源：搞机王腾霄
牛啤，工信部公布了重大技术装备推广应用目录，我去看了下是真的，里面出现了氟化氩#光刻机#，分辨率已经小于等于65nm，套刻小于等于8nm，虽说和国外光刻机相比还是有挺大差距，不过一步一步来嘛，差距总是会缩小的，牛不牛[笑而不语]
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