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金融界 2024 年 9 月 1 日消息，天眼查知识产权信息显示，芜湖映日科技股份有限公司取得一项名为“一种高密度 IZTO 靶材的制备方法“，授权公告号 CN116768604B，申请日期为 2023 年 6 月。
专利摘要显示，本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种高密度 IZTO 靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：S1 原材料选择、S2 氧化锌球磨、S3 混合球磨、S4 喷雾造粒、S5 压力成型、S6 靶材烧结。本发明选用特定 BET 值的氧化铟、氧化锡和氧化锌作为原材料，通过搅拌球磨使粉末混合均匀，经离心式喷雾造粒机干燥造成 IZTO 粉末，再使用等静压成型机将 IZTO 粉末压缩成素胚，然后在常压氧气气氛下进行烧结处理，控制升温速率和保温时间以实现高密度靶材的制备。与传统工艺相比，该方案可大幅度提高靶材的密度和均匀性，具有显著的应用价值。
本文源自：金融界
作者：情报员
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