国际先进水平!成都这家企业MPCVD系统受青睐

11月10日，记者获悉，近日，坐落于四川省成都市双流区空港一路的成都华宇微波技术有限公司传来喜讯，该公司实现了高端装备领域重大技术突破，其自主研发生产的微波等离子化学气相沉积系统（MPCVD）3.0设备正式下线并投入使用，标志着成都华宇微波在MPCVD设备研发制造领域达到国际先进水平。

“MPCVD微波等离子化学气相沉积技术，是通过微波激发反应气体成等离子体状态，提高化学反应速率，从而确保单晶材料生长的持续性，为合成高质量的大尺寸单晶金刚石提供有力保证。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶体。这种技术培育出来的钻石净度更高，可以作为光、电、声等功能性材料，也可用于钻石饰品的制作。”成都华宇微波负责人刘引表示。

20多年来，成都华宇微波始终专注于微波等离子体设备和相关材料沉积工艺的研发，其研发和制造的微波等离子体系统涵盖了目前国内外已知的所有类型，并为国内众多科研院所和企业用户提供了微波等离子体专业化、定制化设备和产品工艺技术的综合解决方案。经历了漫长的研发过程，成都华宇微波终于赶在2023年末实现了国内MPCVD设备在这一领域的又一次突破。

11月1日—3日，第七届国际碳材料大会暨产业展览会（Carbontech 2023）在上海跨国采购会展中心举办。钻石加工、鉴定研究及教学40多年的材料学专家苑执中，四川大学无机材料系和生物医学工程系教授苟立、电子科技大学教授陈中柘等多位材料和机械领域的专家齐聚成都华宇微波展厅共话MPCVD未来。

“MPCVD技术在大尺寸、大克拉钻石培育方面具有绝对优势。”四川大学无机材料系和生物医学工程系教授芶立表示，随着大尺寸、大范围、高灵活度的金刚石沉淀技术的逐步开发，大规模集成电路和高速集成电路也将进入一个新的时代。记者了解到，芶立是材料学方面的专家，四川省学术和技术带头人后备人选，在金刚石的制备和应用上有很深的研究造诣，曾参加“863”课题、“973”等国家重点项目。

芶立非常看好MPCVD技术的应用场景。她介绍，金刚石上在力学、热学、声学、光学、电学方面都有优异的特性，所以在高功率的散热、极端环境下的探测、污水废水的处置等方面表现得很优秀，“金刚石还被誉为终极半导体材料，今后必将在芯片行业取得突破性的应用。”

“成都华宇微波起步早，是国内最早做微波等离子体化学气相沉积的制造商之一。企业的技术团队研发能力较强，技术在行业领先。现在很多高校和研发机构进行教学、研究，都需要用到这个设备。”芶立如是说。