Edwards爱德华干泵系列 iH、GXS、iXL、iXH 和 STP涡轮分子泵介绍

深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商，为客户24小时提供技术支持及售后服务，针对各个行业工艺端设计提供适合的负压真空系统解决方案，为半导体、平板显示器、LED和太阳能电池制造、工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业等提供优化的真空解决方案。

Edwards真空泵iH、GXS、iXL、iXH和STP涡轮分子泵光伏光电空气质量控制介绍

随着我们探寻各种方法以求减小对于化石燃料的依赖而不破坏子孙后代赖以生存的环境，人们对于环保且可再生能源的需求越来越大。最环保的解决方案之一是太阳能。制造商使用晶体硅、CdTe、 CIGS 或硅薄膜技术等多种制程来生产捕获阳光并将其转换为能量的光伏电池。 最近十年的技术快速发展使得太阳能在经济方面更具竞争力，同时提高了效率并降低了制造成本。

Edwards真空泵在适用于太阳能应用的真空和减排方面处于领先地位，能够向光电产品制造商提供适合所有制程的完整系列干式真空泵、 涡轮分子泵 (TMP) 和废气管理系统。无论是作为单独的产品系列，还是作为完全集成的泵和减排解决方案，在光电领域内的制程知识和技术专长帮助您保持交付和质量要求的关键因素。

Edwards爱德华干泵系列包括 iH、GXS、iXL、iXH 和 STP涡轮分子泵，每个系列都已进行优化以满足用户的特定应用要求，具有出色的制程气体处理和温度管理能力，可最大限度地提高可靠性，环保模式技术将会降低功耗，实现低的运营成本并减轻对环境造成的影响。

光电制造制程中广泛使用包括 Atlas 系列和 Spectra ZW 系列燃烧型洗涤器在内的减排产品以便在高氢气流量和极端毒性自燃气体条件下实现高可靠性，使得制造商能够减轻其对环境造成的影响，同时降低运营成本

备受赞誉的EZENITH 将真空泵和减排技术集成到单个系统中，可为制造商提供高效、低拥有成本、可满足最新制造和环境要求的解决方案。EZENITH 便于安装和使用，还可节省宝贵的工厂地面空间。它采用环保模式，可显著降低能耗，因此既能减少对环境的影响，又能进一步降低拥有成本。

下面深圳托理拆利小编给大家介绍一下光伏行业适用于光电制造商的空气质量控制和干式真空泵系统Edwards爱德华真空泵

Edwards爱德华干泵系列 iH、GXS、iXL、iXH 和 STP涡轮分子泵

Edwards爱德华iH系列

iH系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

Edwards爱德华GXS系列

GXS泵可以单独提供，也可以与高速罗茨增压泵一起提供以提高其容量和极限真空。此外，还提供一系列吹扫选件、过口隔离阀和消音器，这些部件与提供的大流量吹扫和溶剂冲洗附件一起，可以使泵的内部保持洁净，无需拆开清洗。 维修间隔长，换出方便长使用寿命的不氧化型变速箱油可以使维修间隔延长至 5 年。快接式设备接口可以加快泵的安装和更换速度，从而提高工厂的正低运行成 使用密封的定制高效电机和驱动系统大大降低了功耗。少的冷却水和吹扫气体需求与改进的动力系一起，实现了长的维修间隔和行。

Edwards爱德华iXL系列

iXL高性能干式真空泵机组，满足平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 涉及的排气要求。这些性能的泵旨在大限度地提高基板吞吐量，同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。iXL120：紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可快速抽空负载锁定舱室，能耗极低可用于负载锁定和清洁应用的且轻的泵之一。 其低振动和低噪声级的使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间，环保模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本，有助于保护环境。

Edwards爱德华iXH系列

iXH系列干泵为严苛制程能力树立了新标准，它在上的许多 300mm 半导体通过提高制程性实现低成本,可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性以在严苛制程中具有大性。

Edwards爱德华STP涡轮分子泵

STP-iXR2206C Edwards磁悬浮涡轮分子泵其设计理念与 STP-iXA2206/iXA3306 系列相同，新的**性转轴设计提高了抽取性能这一集成的产品易于安装且占地面积小，可作为应用工具的一体化解决方案。 STP-iXR2206C Edwards磁悬浮涡轮分子泵可能提供业内性能，机载控制装置中包含新的小型电源供给。

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