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中企购买浸没式DUV光刻机!尼康中标,ASML按捺不住了

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美方实施芯片限制之所以会盯上光刻机,之前限制中芯国际等中企购买EUV,如今又拉拢日、荷想要共同限制DUV,主要是因为光刻机是芯片制造过程最核心的设备。

可以说,光刻机的先进程度决定着芯片制程水平的高低,7nm及以下要用到EUV,以上要用到DUV。除了荷兰还拉上日本,从尼康中标就能明白,ASML按捺不住了!

光刻机按用途可分为三个大类,即前道光刻机、后道光刻机以及LED领域及面板领域的光刻机。我们常提到的芯片制造使用的光刻机是前道,后道光刻机主要用于封测。

这三类光刻机中,难度最大的就是前道光刻机,目前全球只有4家能够生产,即荷兰的ASML、日本的尼康和佳能、我国的上海微电子。那么,他们都是什么水平呢?

这就需要先了解下光刻机的发展历程,光刻机从诞生到现在几十年共发展了五代。

第一代g-line、第二代i-line为接触式/接近式光刻机,这已经落后了,一般都能做。

第三代KrF扫描投影式光刻机,第四代ArF步进投影式光刻机,之后又延伸出浸入步进式光刻机,这两代为DUV。第五代为EUV极紫外式光刻机,只有ASML能做。

日本的佳能如今只能出货KrF及以下型号。我国的上海微电子,从官网可以看到,ArF、KrF及以下型号都可以生产,目前正在攻坚的28nm光刻机应该就是ArFi浸入式。

我们重点要关注的,其实就是ArFi浸入式DUV光刻机,这也是当年ASML能够超过日本尼康和佳能,成为全球光刻机霸主的关键节点。在此之前,ArF干式还非常领先。

所谓干式光刻机,就是以介质为空气,做出193nm波长的光线,直接进行光刻。当时的干式光刻机技术,尼康和佳能可是光刻机巨头,ASML还只是个级别很低的小厂。

然而,ASML积极配合台积电的林本坚,改为以水为介质,直接让波长变成132nm。

当时,林本坚提出以水为介质的观点后,尼康和佳能已经投入了几十亿美元,继续研发157nm的干式技术,根本不理会林本坚的浸润式技术,这让ASML逮住了机会。

因此,ASML率先推出了ArFi浸入式DUV光刻机,这让尼康、佳能的干式光刻机直接落后,ASML因此迅速占领了市场。然后,不断发展壮大,又研发出EUV彻底领先。

但尼康、佳能并不甘心,后来尼康研发出了ArFi,佳能研发NIL纳米压印光刻技术。

近年来,我们一提到光刻机就是ASML,甚至忽略了尼康和佳能,主要是ASML不仅垄断了EUV,DUV方面出货量的占比也很大,我们中企购买DUV一般选择的是ASML。

不过,近日消息传来,在国内晶圆企业设备招标中,上海积塔半导体发布了1台ArFi浸入式DUV光刻机招标,结果显示日本尼康中标,而不是我们常提到的荷兰ASML。

这估计会令ASML感到非常意外,因为之前但凡有中企购买DUV,一般都是ASML。

其实,尼康之前的光刻机主要供货英特尔。但去年日媒报道,尼康宣布要大举扩大光刻机产能,提高到目前的3倍以上,并减少对英特尔的依赖,加大大陆市场布局。

如今,据说美日荷三方已经达成了共同限制协议,接下来可能要限制DUV光刻机,没想到尼康率先行动了,提前争抢大陆的光刻机市场,这自然会影响到ASML的份额。

本来,ASML就不想听从美方要求限制DUV,担心会大陆市场,没想到还是被抢了。

近段时间,ASML本来就很着急,因为三方协议已经达成,实施DUV限制的可能性很大。于是,ASML率先公开了消息,本意就是想提醒中企,在限制实施前尽快下单。

ASML其实就是想争取尽可能多的出货DUV,尽量减少限制带来的损失,没想到被尼康给抢先了。因此,有外媒表示,ASML按捺不住了,接下来可能会有更大举动!

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