北京
中国上市公司网/文
12月23日，国内少数以ALD技术为核心的薄膜沉积设备生产商———微导纳米(证券代码：688147.SH)正式登陆科创板上市。公司上市首日收盘价为27.45元/股，比发行价上涨13.38%，总市值124.75亿元，作为国内领先的微纳制造装备领先者，有望获得更多关注。
微导纳米自2015年成立以来，以原子层沉积(ALD)技术为核心，专注于先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用。全球首创将ALD技术规模化应用于光伏领域，2018年公司光伏ALD设备被评为江苏省首台(套)重大装备产品;2021年，公司半导体ALD设备成为国产首台成功应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的量产型High-k原子层沉积设备，填补了我国在该类半导体设备上的空白，一举入选第十五届中国半导体创新产品。
公司通过不断吸纳国内外优秀人才和研发投入，先后设立江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站等科研平台，在原子层沉积反应器设计技术、高产能真空镀膜技术、真空镀膜设备工艺反应气体控制技术、纳米叠层薄膜沉积技术、高质量薄膜制造技术、工艺设备能量控制技术、基于原子层沉积的高效电池技术等前沿科技领域持续构筑和强化技术壁垒，并在此基础上继续深化ALD技术在下一代光伏电池、集成电路、先进存储等方面的技术储备，为客户提供更丰富的高端薄膜沉积产品。
凭借行业需求的快速增长和公司深厚的技术沉淀，2019—2021年，公司实现营业收入21581.56万元、31255.41万元和42791.71万元，年均复合增速40.81%，业绩增长显著。截至2022年第三季度，公司在手订单合计19.75亿元，同比增长120%，充足的在手订单为公司后期业绩增长奠定了基础。
在光伏领域，公司产品对行业领先的电池片厂商实现了较高的客户覆盖率。公司在光伏电池片薄膜沉积领域积累了丰富的技术与产品经验，树立了良好的市场口碑，与国内前十名电池片企业均建立了合作关系，服务包括通威太阳能、隆基股份、 晶澳太阳能、阿特斯、天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商。太阳能电池片技术路线目前正由PERC工艺向新型高效电池(TOPCon、XBC、HJT等)发展，公司在行业中已率先取得多家头部电池片企业TOPCon、XBC产线的设备订单，并根据下游厂商在HJT电池、钙钛矿叠层电池等其他新型高效电池的量产节奏储备相关技术和产品。
在半导体领域，公司产品已实现销售，掌握多份订单、产品技术验证合作。2021年，公司首台半导体领域设备实现销售，该台设备为国产首台成功应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的量产型High-k原子层沉积设备。公司打破了该工艺技术被国外厂家垄断的局面，实现了“卡脖子”技术突破。凭借产品突出的技术优势，公司半导体专用设备产品获得多家国内知名半导体公司的商业订单，并与多家国内主流半导体厂商及验证平台签署了保密协议并开展产品技术验证等工作。
随着国家对半导体产业的持续投入以及本土企业的快速发展，国产设备进口替代加速。根据公司招股书数据，半导体薄膜沉积设备的国产化率由2016年的5%提升至2020年的8%。从细分品类看，PVD设备与CVD设备均已初步实现国产化，而ALD设备作为先进制程所必须的工艺设备，在大规模量产方面国内厂商尚未形成突破，因此其国产替代需求尤为迫切。
未来，微导纳米将积极拓展并深化核心ALD技术在下一代光伏电池、半导体、柔性电子等领域的应用，针对市场发展和需求开发专用于产业化的薄膜沉积产品及解决方案，不断向产品横向以及纵深发展，力争成为世界级的微纳技术解决方案装备制造商。
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