华特气体：国产替代先锋竞逐高景气赛道｜冠军回访⑥

“我们的锗烷通过了认证，‘打’进了三星5纳米芯片生产线。”最近，广东华特气体股份有限公司总经理傅铸红每当说起这个好消息，还是难掩激动。

南海企业广东华特气体股份有限公司（以下简称“华特气体”）是中国特种气体国产化的先行者、国内特种气体头部企业。目前，该公司电子特气产品已实现对国内8寸、12寸集成电路制造厂商超过80%的客户覆盖率，解决了中芯国际、长江存储等国内半导体厂商气体材料的进口制约，同时进入了英特尔、美光科技等全球领先半导体企业的供应链体系。7月22日，上交所和中证指数有限公司发布“科创材料指数”预告，华特气体成为四家入选的半导体公司之一。

对于打破国外垄断，这家隐形冠军企业步履不停。近期，华特气体的锗烷、高纯度乙烯、高纯度丙烯等产品在电子特气特别是高端半导体材料领域取得应用突破，继续从跨国公司口中“夺食”，在国内外市场划出了企业新的增长曲线。

华特气体生产车间。 企业供图

坚持聚焦“芯片血液” 打破国外垄断

近两年，华特气体锗烷产品争取三星认证的进展，一直备受投资者关注。

电子特气是主要用于电子信息领域的一类特种气体，下游行业包括集成电路、液晶面板等。在半导体材料行业，电子特气被称作“芯片血液”，几乎渗透到集成电路生产的每个环节，能帮助合成化合物，助力手机、计算机等“大脑”芯片的勾勒等，商业价值高。但长期以来，由于国内外气体企业的技术代差，全球电子特气市场被几家巨头企业垄断。

锗烷面临相似的竞争态势。傅铸红介绍，锗烷产品作为硅-锗(Si-Ge)膜的前驱气体参与制造，全球90%以上的锗烷市场长期由美国Voltaix公司垄断，产品价格达每公斤数万元。

这趟国产化替代之旅，华特气体走得并不容易。从启动对于锗烷产品的研发，到2019年产品通过海力士认证，再到通过三星认证并获得批量供应资格，华特气体已经用了11年时间。在拿到三星5纳米芯片生产线的“通行证”以前，该公司经历了三星三次试气，耗时近3年。

同样在电子特气领域，华特气体的高纯度乙烯、高纯度丙烯近期也取得了技术和市场突破。其中，该公司经过三年潜心研究，把乙烯产品的纯度从99.999%提高到99.9995%，以0.0005%纯度的优势打破了美国进口产品的长期垄断，开始应用于储存芯片和逻辑芯片的制造工艺。

近年来，电子特气是华特气体发力进口替代的重点赛道，也是高景气赛道。据国际半导体产业协会相关统计数据，2019年，全球晶圆制造材料市场规模为328亿美元，其中电子特气为43亿美元、占比13%，是仅次于硅片的第二大耗材。

目前，华特气体已实现40多个气体品类的进口替代。在电子特气方面，该公司已进入英特尔、美光科技、德州仪器、海力士等全球领先的半导体企业供应体系，同时是国内唯一同时通过荷兰阿斯麦、日本GIGAPHOTON认证的气体公司。

在华特气体的氟碳气体车间里，工作人员正在操作设备。 企业供图

继续勇闯“无人区” 提高市场份额

作为中国特种气体国产化的先行者，华特气体在2017年凭借“中国电子特种气体领域市场占有率第一”的优势，被南海认定为隐形冠军企业，并凭借多年如一日的坚持，持续在被跨国企业垄断的电子特气市场攻城略地。

对于高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、Ar/F/Ne 混合气、Kr/Ne 混合气、Ar/Ne 混合气、Kr/F/Ne 混合气等产品，华特气体是国内首家打破进口制约的气体公司。其中六氟乙烷和5种光刻气在国内市场占有率达60%，是细分市场的龙头。

至今，该公司的电子特气产品已实现对国内8寸、12寸集成电路制造厂商超过80%的客户覆盖率，其客户名单涵盖了中芯国际、华虹宏力、长江存储、台积电、京东方等国内一线知名企业。

彪炳战绩的背后，既有一次又一次勇闯国内产品“无人区”的经历，还有为达到品质要求而付出的不懈努力。

傅铸红说，应用于半导体行业的电子特气是真正的高精尖产品，其品质决定着芯片制程精度。气体纯度不够或配比不精准，哪怕0.1克甚至更低的质量变化，都会导致芯片成品性能失之毫厘，谬以千里。因此即便在国内，电子特气产品要真正打开市场，必须具备国际一流品质。

“一流品质来自一流管理。为了达到台积电的要求，我们请来了曾在台积电担任厂长的专家帮忙。”傅铸红进一步举例说，多年前，华特气体在外援帮助下优化品质管理，其中不少变化的细致程度，是公司上下都未曾设想过的。

细到何种地步？“例如，哪怕再小的流程变动，都必须充分阐明依据，上报至分管高管并且获得批准。”傅铸红说，当时，为强力推进品质改革，他作为总经理同时兼任公司品质管理经理。

可喜的是，经过四年坚持，华特气体在2013年通过第四次审厂，进入了台积电用气供应链。至今，公司采用汽车行业TS16949的质量管理手法，精益求精，严控出货标准，电子特气产品在多家大厂的用气份额持续提高。

紧抓用气国产化机遇 助力中国“造芯”

发展至今，我国气体企业对国内半导体制造仍然“供血不足”，几大跨国巨头主导了国内市场大部分份额。而且从产品种类上看，据中国工业气体工业协会统计，目前集成电路生产用的电子特气，我国企业仅能生产约20%的品种。

傅铸红说，电子特气国产化的提升空间，恰是华特气体的新增长点。

目前，华特气体主营业务分为三个板块，分别是普通工业气体、特种气体，以及与特种气体相关的设备与管路工程。“今年上半年，食品工业等受疫情影响，公司的工业气体收入有所下降，”傅铸红说，“但是我们的主体业务，也就是电子特气业务增速较快，一降一升，总体实现了增长。”

同期，华特气体部分电子特气产品的利润更是增长明显。例如今年3月以来，受乌克兰局势影响，氖气、氪气等电子特气稀缺。价格上涨，国内集成电路厂商对于电子特气供应链安全愈加重视，提高了国产化供应比例。

“电子特气的国产化正在加速，而且还将继续加速。”傅铸红说，近期，华特气体凭借储存和技术优势，为保障中芯国际等厂商的氖气供应作出了贡献，还借此在东南亚拓展了一批新客户。受此带动，公司光刻气产品在国内市占率高达60%以上。

至于海外市场，傅铸红坦言，目前全球的电子半导体气体市场规模大、增长快，而华特气体公司的份额还有很大的突破空间。接下来，公司将在香港、泰国两个境外销售点的基础上，推动生产环节走出国门，让产品走向更广阔的全球市场。

对此，华特气体2021年报告写道：公司一直会坚持自主技术创新，大力推动特种气体国有化的进程，解决极大规模集成电路，并打造气体行业的民族品牌。

展望华特气体在下半年乃至明年的业绩，傅铸红持乐观态度。“例如锗烷产品的产能提升，将有效提高我们的市场份额。”傅铸红说，“目前，我们对海力士和三星供应的产品约500公斤，明年预计有翻倍的增长。”

■观察眼

走好创新之路，才能赢得世界尊重

“隐形冠军”之父赫尔曼·西蒙认为，“隐形冠军”战略有两大支柱，其中之一是专注，即形成应用、产品、专有技术的深度。

一家“隐形冠军”企业长期坚持深耕细分领域，在国际市场抢占“话语权”，必须具有技术障碍和技术壁垒突破方面的独门绝技。对于华特气体来说，炼成绝技的诀窍是创新。

锗烷产品进入三星5纳米芯片生产线，乙烯纯度从99.999%提高到99.9995%，以0.0005%纯度的优势打破了美国进口产品的长期垄断……华特气体在获得南海制造业“隐形冠军”认定后，继续通过一次次创新突破，证明自己的实力。

这些突破，与攻克我国在电子特气领域的“卡脖子”问题联系在一起。硅片、电子特气、光刻胶等耗材影响着芯片制造的良品率和性能，甚至决定着一国芯片产业的高度。华特气体的一项项突破，有效提升了我国造芯的“供血”水平。

这些突破，还成为企业在全球范围赢得尊重的重要底气。华特企业坚持通过潜心研发打破国外企业垄断，成为国内唯一同时通过荷兰阿斯麦、日本GIGAPHOTON认证的气体公司，打入英特尔、美光科技、德州仪器、海力士、三星等企业供应体系都是力证。

可见，企业只有走好创新之路，才能真正做出填补行业空白的技术和产品，才能真正让国外改变对“中国制造”刻板印象，赢得全球客户和同行企业的尊重。

【撰文】陈梦 赵进

【统筹】叶洁纯 林东云

【作者】 陈梦

【来源】 南方报业传媒集团南方+客户端