网易科技消息，9月17日，北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称“华卓精科“）于科创板成功过会。
华卓精科主营业务为超精密测控设备，产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘、晶圆级键合设备、激光退火设备等，主要应用于集成电路制造、超精密制造、光学、医疗等行业。
被誉为国产光刻机“第一股”的华卓精科，虽然不生产光刻机整机，但华卓精科生产的光刻机核心子系统双工件台（光刻机的3大核心部件之一），是除荷兰ASML以外全球唯一掌握光刻机双工件台技术的。华卓精科是国内首家自主研发并实现光刻机双工件台商业化生产的企业，也是国内光刻机龙头上海微电子的供应商。
据了解，华卓精科科创板IPO在2020年6月24日获得受理，之后在当年7月23日进入问询状态，之后公司排队逾一年时间。2021年7月29日，上交所官网披露消息显示，北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称“卓精科”）科创板IPO遭暂缓审议。
据悉，华卓精科本次拟发行股票不超过3200万股，募集资金约7.35亿元，将用于半导体装备关键零部件研发制造项目、超精密测控产品长三角创新与研发中心建设、光刻机超精密位移测量及平面光栅测量技术研发项目等。
华卓精科的董事、核心技术人员、首席科学家朱煜为公司的控股股东和实际控制人，其实际控制股份比例为54.23%。上会稿显示，朱煜为清华大学长聘教授，华卓精科的一众高管也都有清华背景。
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