近日,根据紫金财经消息,中微公司已经成功研制出了3nm蚀刻机,并且已经完成原型机的设计,制造和测试。相关工艺开发和评估也已经完成,目前已经进入量产阶段。这对于国产芯片行业是一个振奋人心的好消息。
虽然我国的光刻机目前并没有喜人的进展,但是同样重要的蚀刻机取得的重大突破对于我国的国产芯片发展起着至关重要的作用。芯片的生产过程中,光刻机和刻蚀机都是缺一不可的。如果说光刻机是是在硅片上画出线路图的话,那么刻蚀机就是按照光刻机画出的线路图进行雕刻,刻出沟槽或者穿孔以便进行后续工作。
中微公司全称中微半导体设备(上海)有限公司,成立于2004年,是一家具有自主研发功能的企业,目前已经拥有1200余项专利。尽管我国的蚀刻机技术已经跻身世界前列,但是从现有的经验来看,光刻机技术还没有一个国家可以独立完成设计和生产,因此国产芯片道阻且长。
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