光刻机深紫延期、极紫遥遥无期，谁让中芯们坐了电梯？

　　撰文 | 文一刀

　　前后两天，中芯国际及多只相关概念股上上下下非常热闹，但热闹背后却多是苦涩。

　　3月3日，中芯国际发布公告称，“公司就购买用于生产晶圆的阿斯麦（ASML）产品与阿斯麦集团签订购买单，总价12亿美元（约合人民币78亿元）。”

　　荷兰半导体设备商阿斯麦尔（也有译称‘艾司摩尔’）集团是全球最大的半导体关键设备制造商，其核心产品就是半导体芯片制造过程中所需的光刻机。

　　全球现在研发制造光刻机的企业仅4家，能生产EUV（极端紫外线光刻机）的只有阿斯麦尔，而EUV则是先进制程（14nm及以下）和特殊制程（例如工业，军用）芯片生产必须的设备。

　　由于中芯在公告中没有具体说清楚签单明细，仅用“生产圆晶的阿斯麦产品”来指代，此消息一出，立刻引发一股欢腾。有人惊呼“中芯终于被放行啦！”、“中芯这下子也能生产高端制程芯片啦！”等等。

　　这些说法无论有意、无意其实都非蠢既坏，可是在听风就是雨的股市上却也掀起些波澜，中芯国际A股、港股双双涨起并带动半导体芯片概念股开盘冲高，亚翔集成拉升封板，上海新阳、沪硅产业、至纯科技等涨超4%。

　　如此动静，荷兰阿斯麦坐不住了，赶紧发出澄清声明将中芯公告中没有说清楚的部分着重给予明晰。用简单明了的人话总结起来情况如下：

　　1、此次签署的并非新技术设备采购放行协议，其实是老技术下的设备采购交付延期。

　　结合阿斯麦声明与中芯公告可知，中芯与阿斯麦早在2018年1月1日就签署了该批量购买协议（VPA），VPA项下的销售内容主要是DUV（深紫光刻机）；采购订单总额12亿美元，原本约定时在2020年3月16日至2021年3月2日期间完成。但VPA（批量购买协议）已经于2020年12月31日到期，双方经一个月商谈后在2020年2月1日又签订了延长协议，将该VPA延长至2021年12月底。

　　补充注释：换句话说，这也意味着荷兰公司由于某种原因并未按原计划交货，即便要交的只是老技术的DUV。现在这12亿美元的DUV总算能交易了，但交易还是被延期了一年。

　　2、订单不包括EUV，出售的主要是DUV（深紫外光刻机）；

　　补充注释：事实上，DUV光刻机，比如PAS5500系列和TWINSCAN的早期型号，中芯原本就一直可以从ASML买到。

　　现在看来其实是连旧技术下的设备采购都没有以前顺利，幸亏今年1月，阿斯麦方面曾表示，若当局允许向中芯等出售使用较旧技术的晶片制造设备，那么公司的销售订单有望“大幅成长”，后经如此折腾，才总算得以放行。而DUV等旧设备对中芯来说只能保证老芯片或曰成熟制程的维持或扩大产能。

　　至此，这事儿总算明了。

　　总结一下：中芯买EUV这乌龙，都是不好好说俗话造成。