今天,三星官网发文称已完成5nm FinFET工艺技术的开发,并且现已可认为用户供给样品。与7nm相比,三星的5nm FinFET工艺技术将逻辑区域效率提高了25%,功耗降低了20%,性能提高了10%,从而可以在更小的芯片面积当中供给更强的性能并且功耗更低。同时在6nm和7nm工艺方面也有了很大的进展。
除了从7nm到5nm的功率性能区域(PPA)改进之外,用户还可以使用三星的EUV技术,在金属层图案化中使用EUV光刻,并减少掩膜层,同时可以供给更好的保真度。三星还将自己在7nm年代的一切知识产权用到了5nm工艺的研制当中,因此可以减少客户从7nm过渡到5nm的成本,并可以预先验证规划生态系统,从而缩短5nm产品开发的流程和时间。
三星Foundry与其“三星高级代工生态系统(SAFE)”合作伙伴密切合作,为三星5纳米供给强大的规划基础架构,包括工艺规划套件(PDK),规划方法(DM),电子规划自动化(EDA)工具和IP自2018年第四季度开始供给。此外,三星Foundry现已开始向客户供给5nm多工程晶圆(MPW)服务。
三星电子铸造业务执行副总裁Charlie Bae表示:“功完成5nm开发,我们现已证明了我们在基于EUV的节点中的能力,响应客户对先进工艺技术不断增长的需求,以区分其下一代产品,我们持续致力于加速基于EUV技术的批量生产。”
目前,三星现已准备好了5nm的样品,同时6nm现已成功流片,7nm可更快的批量生产。相比之下,台积电5nm工艺现已进入试产阶段。
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