知难而进！华虹集团：先进制程和特色工艺我全都要

集微网消息，SEMICON China 2019在上周顺利落下帷幕，华虹集团在展馆C位亮相，展示了12英寸生产线重点项目推进情况，先进工艺研发进展以及包括嵌入式非易失性存储器、功率器件、模拟及电源管理、逻辑、射频和图像传感器等众多特色工艺在内的解决方案。

在3月20日的SEMICON China2019开幕主题演讲上，华虹(集团)有限公司党委书记兼董事长张素心表示，全球产业的变迁和转移是产业发展的必然趋势，只有遵循“开放、创新、合作”的立场，才能够实现全球产业链的共赢，这也是当前中国半导体产业的根本立场。

张素心指出，中国作为全球最大的集成电路消费市场，对全球市场的需求逐年增加。同时，中国经济的发展也促使中国的集成电路产业在全球产业链中扮演着越来越重要的角色。数据显示，目前，全球排名前20的集成电路企业，有三分之一来自中国的业绩贡献超过50%，三分之二来自中国市场的业绩贡献超过30%。

中国的集成电路大量依赖进口，那么对于中国的IC企业来说，如何才能成为能支撑起如此庞大的中国市场呢？

更高的计算能力、更低的功耗和更小的体积不仅仅是产业一直以来的选择，也是消费者的选择，更是产业发展的必然趋势。张素心强调，这一趋势也从根本上导致了半导体公司对半导体制程工艺的极致追求，从28nm到14nm再到10nm，7nm直到趋近于物理极限，这一追求都没有停止过。

张素心认为，正是在这一趋势下，制造工艺正在从单一追求先进工艺向先进工艺、特色工艺、先进封装并举转变，超越摩尔定律的特色工艺的影响越来越大，应用领域越来越宽，前景越来越广。

正如张素心所说，中国半导体制造企业在追求先进制程突破的同时，也要开辟出一条特色工艺之路。而在他领导下的华虹集团，就是这样一家企业。

埋头苦干先进制程

在3月21日的SEMICON China 2019先进制造论坛上，华虹集团旗下上海华力微电子公司研发副总裁邵华发表演讲时表示，一些科幻片中的高科技技术，实际上现在就能做到，例如《流浪地球》中的Moss超级AI计算机、人脸识别和无人机等。

邵华指出，在今年的MWC 2019上可以看到，5G已经变为现实，5G时代的到来不可阻挡，世界即将进入万物互联的状态。5G和自动驾驶等新兴技术对工艺提出了更高要求，华力微电子作为一个器件和工艺的大平台，目前有两个工厂，其中华虹5厂目前的月产能在35000片左右，工艺节点覆盖55nm-28nm；华虹6厂的目标产能则能够达到每月40000片，今年年底将达到每月20000片，并于2021年底达产，工艺节点更是覆盖到28nm-14nm FinFET。

邵华表示华力微电子正在全力加速先进制程研发，今年年底将会量产28nm HKC+工艺。

另辟蹊径特色工艺

同样在该先进制造论坛上，华虹宏力的执行副总孔蔚然发表了“以创新促发展”为主题的演讲，介绍了摩尔定律与特色工艺的关系和华虹宏力的特色工艺发展之路。

孔蔚然表示，从多年的发展状况来讲，普遍认为8英寸厂已经脱离了先进制造，相对是落后的，虽然华虹宏力未来有12英寸厂计划，不过现有的三个工厂均是8英寸厂。但是由于市场需求变化，差异化技术和特色工艺使得华虹宏力的名声变得越来越好了。

作为全球领先的eNVM技术代工解决方案提供商，华虹宏力在存储器单元尺寸缩小、存储器IP面积优化及光罩层数减少等方面持续创新。华虹宏力提供从0.18μm到90nm嵌入式Flash（闪存）、EEPROM（带电可擦可编程只写存储器）、SONOS 、OTP（一次性可编程）/MTP（可多次编程）等技术，产品应用可覆盖高中端及入门级MCU芯片。

从低压（5V~7V）到高压（600~700V）应用，华虹宏力已有相对完整的技术布局，目前的8英寸工艺主要针对大功率、高可靠性、智能化应用。未来华虹无锡的12英寸工艺将主要针对智能化、低功耗、小型化应用。

最后，孔蔚然强调，华虹宏力作为一家纯晶圆制造企业，依靠技术创新促进了它的成长和发展，闪存、功率、模拟和射频等特色工艺为客户带来了优异的价值回报和市场竞争力，而未来的“8+12”技术路线将提供巨大的产能和技术发展空间。

2018年华虹集团成绩斐然，总营收超过16亿美元，同比增长15%，旗下8英寸生产线（华虹一、二、三厂）年出货量首次突破200万片，并连续8年实现盈利。华虹五厂首次实现年度盈利，成为国内企业从建线到盈利最快的12英寸生产线。

可以说，华虹集团的成长，离不开先进制程的不断突破，也离不开能满足多样化需求的差异化工艺和特色工艺。（校对/团团）