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重大突破!我国新一代光刻机模型亮相!网友:将具备关键零部件100%国产能力

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全网都在热议黄仁勋婚外情事件时,咱们国内悄悄出了一件大事,好像没有引起太多的声响!那就是,我国新一代光刻机模型亮相!


而且关键零部件国产化率突破90%!

应该很快就能具备百分百国产的能力了!

光刻机,这可是工业皇冠上的明珠,国外用光刻机技术把我们的脖子卡得死死的!具体情况大白看了下!是近日在上海举行的第九届中国国际进口博览会。中国馆里,新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800和SSB800的透明剖视模型展示出来了,由上海微电子制造。

SSC800采用KrF光源,覆盖110纳米及以上制程,适用于存储芯片、微处理器、MicroLED等产品。SSB800采用I-line光源,覆盖280纳米及以上制程,适用于功率半导体、模拟IC、MEMS等产品。


特别强调的是高精度物镜、照明系统、双工件台、掩模台、自动物料传输、对准调平,全链条都是自主可控,关键零部件国产化率突破90%。

还有三个产线数据非常重要,首先是多台设备已在头部逻辑和存储产线长期运行,累计流片超千万片,有效运行率超92%。这些展出的光刻机模型不只是实验室展品,92%的有效运行率意味着晶圆厂可以将其纳入正式生产排期,避免晶圆浪费。

这次亮相的是干式机,不是浸没式ArF,DUV、也不是EUV。SSC800的110纳米能力不能被理解为"28纳米光刻机",它是在干式框架内把成熟制程做到可替代、可量产。汽车电控、工控、家电、功率器件大量使用的是这些节点,这部分先跑通自主供给,意义已经很大。

28纳米浸没式DUV还在攻坚,EUV光源和整套极紫外系统离自主量产还有距离。

所以这件事标志着成熟制程的自主供应能力开始落地了,而不是说卡脖子问题已经完全解决。

评论区的网友们也是纷纷留言。


有人表示终于看到透明剖视模型,敢把光路和工件台拆开给人看,本身就是工程能力的体现,千万片流片比任何参数都有说服力。


有人指出干式机要客观看待,不能和EUV混为一谈,但92%运行率放在晶圆厂生产计划里就是可以排产的数字。


有人冷静说下一步看28纳米浸没式能不能稳定交付,那才是对国产产业链真正的大考。

也有人提醒资本市场别光炒概念,光学镜头、双工件台、光刻胶这些配套环节,才是接下来真正能出业绩的地方。

读者朋友们,你们怎么看这次国产光刻机亮相呢?评论区一起聊聊。

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