北京
分享至
国家知识产权局信息显示，南亚科技股份有限公司申请一项名为“形成半导体结构的方法”的专利，公开号CN122995541A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，提供一种形成半导体结构的方法。方法包括以下操作。接收基板及第一图案化结构，其中基板包括第一区域及与第一区域相邻的第二区域，并且第一图案化结构在基板的第一区域上。形成第一材料层以覆盖基板及第一图案化结构。形成蚀刻停止层在第一材料层上。形成第二材料层在蚀刻停止层上。平坦化第二材料层以暴露在第一区域上方的蚀刻停止层。蚀刻蚀刻停止层以暴露第一材料层的第一部分，及蚀刻第二材料层以暴露在第二区域上方的蚀刻停止层。蚀刻第一材料层及蚀刻停止层以暴露第一图案化结构。通过使用所述方法，由于不同图案密度所导致的阶差可以被减小或消除。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
